半导体材料和设备的国产化推动了我国半导体硅片的规模化生产。

磁流体密封传动部件是锗、硅、蓝宝石、碳化硅等半导体材料的晶体生长及加工装备的重要零部件之一。

国产化的磁流体密封传动部件将继续采用国际先进技术，保持国际一流品质。

产品广泛应用于半导体前道工艺、Ingot工艺应用、电子级大硅片生长设备

Diffusion工艺应用：
TEL8”机台、TEL12”机台、KE8”机台、KE12”机台等

Implantation工艺应用：Varian机台、Axcelis机台等