目前随着LED芯片向微米级发展,Mini/Micro LED已逐步成为LED行业发展的重点,更小的芯片尺寸和点间距,对芯片制造和封装提出了更高的要求。LED外延片是LED芯片生产最核心的环节,也将决定着LED芯片的质量,因此,LED芯片厂商对外延生长设备是格外重视。磁流体密封传动部件是MOCVD设备的核心部件之一,磁强沃格专业研发的磁流体密封传动部件历经众多设备厂商验证,确保绝对纯净的密闭空间。
MOCVD工艺主要应用了集成驱动式磁流体。我们已与国内众多光电终端客户建立维护合作,实现关键部件国产化。产品也应用于第三代半导领域,为客户提供定制化服务。