GAMMA SPINDLE
来源：磁强沃格创建时间：2020-05-12浏览量：
| ORIGINAL MAKER | PROCESS |
OEM/PN |
NOVOVAC/PN |
REMARK |
| NOVELLUS | ETCH |
04-306477-00 |
|
YSC-02D04B02S |
特殊部件维修
Service
定期维修、维护是以时间为基础的预防维修、维护方式。它具有对设备进行周期性护理的特点，是根据设备的磨损规律，预先确定护理类别、护理间隔期及护理工作量；所需的备件、材料可以预计，因此可作较长时间的安排；护理计划的确定是按设备的实际开动时数为依据。
