特殊部件维修

Service

　　定期维修、维护是以时间为基础的预防维修、维护方式。它具有对设备进行周期性护理的特点，是根据设备的磨损规律，预先确定护理类别、护理间隔期及护理工作量；所需的备件、材料可以预计，因此可作较长时间的安排；护理计划的确定是按设备的实际开动时数为依据。

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VECTOR SPINDLE （INDEX TYPE）

来源：磁强沃格创建时间：2020-05-12浏览量：

ORIGINAL MAKER

PROCESS

OEM/PN

NOVOVAC/PN

REMARK

NOVELLUS C3

300mm

CVD

R02-312735-00

02-252432